桌面式小型勻膠機旋涂儀

桌面式小型勻膠機旋涂儀

產品介紹：

勻膠機是一種用于在基片表面均勻涂覆光刻膠或其他功能性涂層的精密設備，工作原理是通過高速旋轉產

生的離心力，將滴加在基片中心的光刻膠均勻地甩開，并在基片表面形成一層厚度均勻、表面平整的膠膜。

廣泛應用于半導體制造(晶圓涂膠)、平板顯示(玻璃基板涂膠)、光學元件(透鏡、棱鏡等涂膠)、太陽能

電池(硅片涂膠)、生物芯片(基片涂膠)等工藝中。

桌面式小型勻膠機旋涂儀

產品特點：

l 可載基片尺寸：φ10-φ100mm 圓片或最大100*100mm方片

l 7寸全彩觸摸屏，高級PLC控制，設置程序和真空吸附一鍵啟動按鈕, 操作方便

l 可單步和多步（5組5步）勻膠操作

l 工業級馬達，旋轉平穩，運行穩定

l 溶劑PC透明蓋；盆腔PP材質，耐腐蝕

l 真空泵與勻膠機同步工作,勻膠機旋轉, 真空泵就啟動,勻膠機停止,真空泵就停止

l 專有防堵設計，易于清潔

l 配有負壓表，可實時觀察片子是否吸緊，是否漏氣

技術參數：

1.標配三種真空吸盤（φ10mm,φ20mm,φ45mm）
  φ10mm吸盤（可載基片最小φ10mm   最大φ20mm）
  φ20mm吸盤（可載基片最小φ20mm   最大φ47mm）
  Φ45mm吸盤（可載基片最小φ47mm   最大φ55mm）

2. 轉速范圍：99-12000RPM               3.  轉速分辨率：  1RPM

4. 加速可調范圍：99-10000RPM           5. 最大單步步長：4000S

6. 時間分辨率：0.1S                    7.  操控方式：7寸觸摸屏

8.  單步或多步運行可選，最多可設置5組5步程序

9.  減速可調范圍：300-3000RPM

10.  真空輸入：0.06-0.09Mpa，真空流量最小15L/Min

11. 真空接口：設備后面板出口外徑6mm

12. 電源輸入：220V 150W

13. 外形尺寸：335mm(D)x228mm(W)x215mm(H)